超聲波清潔器的shou要機理是超聲空化作用。超聲空化的強弱與聲學參數、清潔液的物理化學性質及環境條件有關，所以要得到杰出的清潔作用有必要挑選恰當的聲學參數和清潔液。
在超聲波清潔器清潔液中只要交變聲壓幅值超越液體的靜壓力時才會呈現負壓。而負壓要超越液體的強度才干發生空化。使液體發生空化的**低聲強或聲壓幅值稱為空化閾。各種液體具有不同的空化閾值，在超聲清潔槽中的聲強要高于空化閾值才干發生超聲空化。
關于通常液體，超聲波清潔器空化閾值約為每平方厘米1／3瓦(聲壓的千方正比于聲強)。聲強添加時，空化泡的**大半徑與開始半徑的比值增大，空化強度增大，即聲強愈高，空化愈激烈。有利于清潔作用。但不是聲功率越大越好，聲強過高。會發生很多無用的氣泡，添加散射衰減，構成聲屏障，一起聲強增大也會添加非線性衰減，這么都會削弱遠離聲源當地的清潔作用。
關于一些難清潔潔凈的污物，例如金屬外表的氧化物，化纖噴絲板孔中污物的清潔，超聲波清潔器需求選用較高的聲強。此刻被清潔面應接近聲源，這時大多不選用槽式超聲波清潔器。而用棒狀聚焦式換能器直接插入清潔液接近清潔件的外表進行清潔。
